潔凈車間對于電子芯片的的生產(chǎn)過程是不可替代的存在,國內(nèi)電子芯片潔凈車間行業(yè)目前主要需注重這幾個問題:
一:高技術(shù)適應(yīng)性與靈活性
在2000年-2010年間,國內(nèi)電子芯片技術(shù)由5英寸 (0.5um) 6英寸(0.5um) 提升到了8英0.18um-0.25um),而目前,一些名廠家的產(chǎn)品更是達(dá)到了12英寸(110nm-90nm-65nm),可以說電子芯片行業(yè)已經(jīng)進入了“納米時代”
國內(nèi)電子芯片技術(shù)的高速發(fā)展與相關(guān)潔凈車間有著密切關(guān)聯(lián),這類車間必須適應(yīng)電子芯片技術(shù)的發(fā)展速度,以便滿足工藝不斷發(fā)展進步的要求。由于電子芯片潔凈車間的建造成本高,使用時間長,因此在設(shè)計與建造時要做好周全準(zhǔn)備,使其具備高技術(shù)適應(yīng)性與靈活性。
二:復(fù)雜工藝與高技術(shù)風(fēng)險
對于電子芯片潔凈車間而言,復(fù)雜工藝與高技術(shù)風(fēng)險是并存的。在產(chǎn)品生產(chǎn)過程中,如果塵埃顆??刂撇划?dāng),會對成品率造成不良影響,甚至還會造成整批產(chǎn)品的報廢
除此之外,在電子芯片潔凈車間的氣流組織中和芯片生產(chǎn)過程中,如果車間內(nèi)塵埃顆粒及靜電控制不當(dāng),會對產(chǎn)品合格率造成很壞的影有時候甚至?xí)斐烧a(chǎn)品的報廢。輕則影響成品率,重則造成整個潔凈車間的報廢,其損失是難以估量的。響,
三:復(fù)雜設(shè)計施工與高建造費用
電子芯片潔凈車間有著嚴(yán)格的潔凈度要求,可想而知,其設(shè)計施工也是相當(dāng)復(fù)雜的。此外,潔凈度越高,建造費用也越高。例如100級(FS 209)單向流潔凈室,僅室內(nèi)裝修與空調(diào)潔凈系統(tǒng)的建造費用為10000元/1。再加上消防、三廢、供配電和自控系統(tǒng),建造費用更是高達(dá)25000元-30000元/m。(僅供參考)
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